全色域Micro LED 12英寸晶圆重构!中微赛尔独创“S-W”量产关键工艺成功验证

中微赛尔12英寸晶圆重构以及“S-W”量产关键工艺成功验证,为Micro LED的规模化量产以及成本的大幅下降铺平道路,将极大推动整个Micro LED终端生态的繁荣发展。

成本高昂、效率低下、性能受限,这些长期困扰Micro LED芯片行业的普遍性难题,被北京中微赛尔科技有限公司(以下简称“中微赛尔”)逐步攻克。

近期,中微赛尔独创的“S-W”工艺完成关键突破,实现了红光、绿光、蓝光三基色(RGB)全色域12英寸晶圆重构,可以在Micro LED芯片的生产中极大地降低成本、提高效率、改良性能,更为下一代单片全彩产品量产奠定坚实基础。

一、Micro LED行业核心难题:晶圆尺寸不匹配

Micro LED行业目前存在的上述普遍性难题,是由“发光材料”和“控制电路”的晶圆尺寸不匹配所导致的。中微赛尔的“S-W”工艺即用于解决此晶圆尺寸不匹配的问题。

发光材料即半导体外延晶圆,通常指Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片,如氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)等材料;而控制电路则是驱动晶圆(CMOS IC)。两者的关系就像“灯泡”和“灯泡开关电路板”,必须互相匹配好。

半导体外延晶圆(发光层)的作用是发光,Micro LED的红色、绿色、蓝色像素点就由这层材料制作。由于大尺寸外延晶圆材料生产受限于技术发展及成本控制,目前能保证高性能的这类晶圆尺寸较小,主要停留在4英寸或6英寸。

驱动晶圆(控制层)指CMOS驱动集成电路晶圆,也就是常说的硅基集成电路芯片,作用是精确控制每一个Micro LED像素点何时点亮、亮度多少,相当于显示器的“大脑”。现代Fab(半导体工厂,如台积电和中芯国际)最先进的产线是12英寸硅晶圆生产线。

Micro LED行业具体的核心匹配难题在于:发光材料(4/6英寸)和控制电路(12英寸)的基础尺寸不统一。这就好比你想用最新、最便宜的大尺寸流水线(12英寸)来生产一个产品,但其中关键的发光部件却只能以小尺寸(4/6英寸)的形式提供。

为了把它们组装在一起,行业被迫采用“削足适履”的方法,比如把12英寸的驱动晶圆切小(浪费率35%左右),或者牺牲部分性能,采用8英寸硅基化合物外延与8英寸CMOS驱动晶圆的方案,但是该技术路线不仅依然浪费,而且无法有效解决红光难题。

、“S-W”工艺核心突破

中微赛尔“S-W”工艺的突破,本质是在12英寸的大硅片上,高效重建出高性能的Ⅲ-Ⅴ族化合物发光层,从而让发光材料和控制电路的尺寸完美匹配,可以直接在主流12英寸产线上进行高效、低成本的一体化制造。

Section image

【S-W工艺实物】

Section image

S-W工艺示意

中微赛尔立足于chip-wafer晶圆重构技术思路,创新提出“S-W”工艺。此工艺在建构12英寸Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片的同时,结合半导体制程特点,采用chiplet转移,实现了较高量产效率。

三、“S-W”工艺技术优势

  1. 12英寸晶圆兼容更为先进的工艺制程,可以设计生产出更高精度、更先进的产品;
  2. 12英寸晶圆具备更大的晶圆尺寸,量产生产效率更高,生产成本更低;
  3. 12英寸晶圆匹配目前主流CMOS驱动电路制程,产品良率更高;
  4. 12英寸晶圆采用芯片组进行转移,提高转移效率具备更强量产性。

四、DRSP单片全彩像素架构

同时,为适应单片全彩的行业迫切需求,中微赛尔提出单片全彩DRSP像素架构,“S-W”工艺的突破为DRSP像素架构的开发奠定了坚实的基础。比之业内原有的技术方案,DRSP像素架构具备以下技术优势:

  1. 驱动衬底键合次数少、生产良率高、量产成本更低。
  2. DRSP彩色像素架构更紧凑、发光位置更集中,有利于micro-Lens效率提高,整个器件的出光效率更高(可以提高亮度5%以上)。
  3. 红光区域面积最大,可以有效避免红光的“尺寸效应”短板;全彩产品亮度高于行业水平一倍以上。发光层可以根据不同材料特性以及亮度需求,可做出相应调整,能够获取最高发光效率(效率提高5%以上)。DRSP全彩像素架构使得整个产品在寿命、亮度、效率方面均存在明显优势。

五、推动Micro LED终端生态繁荣发展

12英寸晶圆重构以及“S-W”量产关键工艺成功验证,为Micro LED的规模化量产以及成本的大幅下降铺平道路,将极大推动micro LED终端生态繁荣发展,覆盖领域包括:智能穿戴、CPO光通信、光医疗、光计算、光存储、下一代空天通信等。

中微赛尔正以自主核心技术,持续引领Micro LED行业从“实验室”走向大规模低成本“量产线”,为全球显示产业注入中国创新的强劲动力。

北京晚报(北晚新视觉)、IT之家、中金在线、ZAKER-财经、投资界、ITBear财经 (小熊财经)、大众网-科技、科技新闻网、中华网-产业、信阳日报、龙讯财经网、金投网-新闻、中研科技网(中研网)、搜狐网-科技(自媒体)、工控课堂、虎扑等多家媒体对本次新闻进行刊发与转载。

Section image